PRODUCT
製品情報
フィルター洗浄装置
- 各種フィルター製造工程における洗浄装置をご提供いたします。
- 手動タイプから自動タイプの洗浄装置対応経験があり、オンライン対応の洗浄装置実績もございます。
- 主力は半導体用フィルターでの対応となりますが、小型のフィルター（2～3インチ）から大型のフィルター（最大30インチ）まで、各種装置化のご提案が可能です。
- ウェーハ洗浄装置で培った技術を駆使し、純水や薬液を使用した様々な洗浄方法（レシピ）のご提案を行い、フィルター出荷前の最適な洗浄処理を実現可能です。
- フィルター洗浄工程のみならず、各種フィルターの出荷前検査工程対応装置も多くの実績があり、検査項目に合わせた自動化装置や各種ロギング機能のご提案が可能です。
- お客様のご要望に合わせる形での受注生産装置となりますので、お気軽にご相談ください。
