●１９７１年　７月
  Echo技研以设计和生产空气清净器与通风室等装置为目的在东京荒川区设立。

●１９８７年　７月
  作为仓敷纺织股份公司的一份子成立了Echo技研有限公司，
  使我司多年的技术和经验有了更进一步的发展和强化，并带动了我司事业全新的一页。
●１９８８年　７月
  在昭岛市（东京都）设立新工厂。
  以半导体业界的自动洗涤设备为主力产品，进行设计，制造和销售。

●１９９０年　２月
  为设计制度的提升，迅速化以及效率化，导入了计算机辅助系统（CAD）

●１９９５年　１１月
  为了扩大事业，总公司和工厂搬到了东京都青梅市新町。
●１９９６年　１月
  随着扩大事业，为了新产品的开发，组成了研究开发组织。
●２００７年　３月
  无尘室升级。

●２００７年　１１月
  ISO14001：取得2004认证。

●２０１１年　７月
  第一台的450㎜晶片洗涤设备发货。

●２０１４年　４月
  公司内部伺服器重新建构成最新的OS操作系统，并更新区域网路系统。